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旋转圆柱靶溅射沉积产额分布

采用数值计算模型,计算了旋转圆柱靶溅射产额分布.数值计算中假 设从靶溅射出来的粒子服从余弦函数定律.计算得到的单靶溅射产额分布和Al靶在Ar气压0.4Pa测量得到的...
孟秀清 ， 王双 ， 尚航 ， ... -  《真空》  -  被引量:  3  -  2010年
来源： 百度文库  /  国家科技图书文献中心  /  万方  /  维普网  /  知网    维普网 doc.paperpass.com epub.cnki.net
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真空太阳能集热管烘烤排气高真空系统设计

试验证明X50烘烤排气台的抽真空性能明显优于X35烘烤排气台的抽真空性能.在装载集热管加热烘烤结束时,X35排气台和X50排气台的高阀处的真空度接近相等,为2×10^-3Pa;...
孟秀清 ， 韩荣涛 ， 苑金良 ， ... -  《真空》  -  被引量:  1  -  2014年
来源： 国家科技图书文献中心  /  万方  /  维普网  /  知网  /  维普网    doc.paperpass.com
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圆盘式真空管封口机的维护与保养

圆盘式真空管封口机﹙以下简称封口机﹚是太阳能真空管加工的主要工具之一,封口机的维修,维护保养,故障检查与排除分析的方法十分重要,是保证封口机正常运转的重要途...
孟庆远  -  《真空》  -  被引量:  0  -  2018年
来源： 国家科技图书文献中心  /  万方  /  维普网  /  知网  /  search.cnki.net    kns.cnki.net
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